以上为百科题库网整理的关于"三氟化氮(NF<sub>3</sub>)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体。它无色、无臭,在潮湿的空气中能发生下列反应:3NF<sub>3</sub>+ 5H<sub>2</sub>O = 2NO+HNO<sub>3</sub>+9HF,下列有关说法正确的是"试题答案及解析,如想学习更多化学类竞赛题,欢迎访问www.baiketk.com查看搜索更多相关信息。
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