根据《洁净厂房设计规范》GB 50073,某3层集成电路的光刻间的耐火等级不应低于（）。

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无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。
无尘车间等级划分：1级≥百级级≥千级级≥万级≥十万级≥百万级
越排在前面，级别越高，1级是级别最高的。最常见的是百级到十万级。
1级 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的精确要求为亚微米。
10级 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级很多人认为，这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间，这一洁净室大量应用于，植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。
10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。
100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
也就是说值越小，净化级别就越高。洁净度越高造价就越高。
无尘车间的净化洁净度根据生产工艺要求，合适就好。
给你个参考吧！
YY0033 无菌医疗器具生产管理规范
GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范
GB50073-2001洁净厂房设计规范
GB50243-2002通风与空调工程施工质量验收规范
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