滑闪放电的形成机理与电弧形成机理相同。放电起始阶段，细线通道内因碰撞电离存在大量带电粒子，在较大电场的垂直分量作用下，带电粒子不断撞击介质表面， 使局部温度升高，随着电压升高，局部温度升高到足以引起气体热电离的临界点时，通道中带电粒子剧增、电阻剧降，通道头部场强也剧增，导致通道迅速增长，进入滑闪放电阶段。所以，滑闪放电是以介质表面放电通道中发生了热电离作为特征的。
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